Veřená zakázka

UPT-VZ-21-09: Plasmatický systém

Druh zadávacího řízení:
Zakázka malého rozsahu
Lokalita:
Celá Česká republika
Kategorie:
Technologie, stroje, přístroje a elektronika
Technologie, stroje, přístroje a elektronika ->  Technologie, stroje a přístroje
CPV kódy:
22520000-1 - Zařízení pro suché leptání
Popis:

Plasmatický systém (PS) je zařízení, jenž se využívá k plasmatickému leptání organických i anorganických vrstev a materiálů, stripování vrstev rezistů, aktivaci povrchů atd. Plasmatický systém je tvořen pracovní vakuovou komorou s elektrodami, vakuovou pumpou, vakuovou měrkou, radiofrekvenčním generátorem/y, budícím/i plasmatický výboj v komoře nebo/a na RIE elektrodě, přesnými dávkovači pracovních plynů a řídící jednotkou umožňující uživatelské ovládání systému a zajištující automatický běh zvoleného plasmatického procesu.

warning
Upozornění: pro zobrazení zadávacích podmínek se registrujte ZDARMA nebo se přihlašte.

    Termíny:

  • calendar_today 
    Lhůta pro podání nabídek do:
    08.09.2021