Veřená zakázka
UPT-VZ-21-09: Plasmatický systém
Druh zadávacího řízení:
Zakázka malého rozsahu
Lokalita:
Celá Česká republika
Kategorie:
Technologie, stroje, přístroje a elektronika,
Technologie, stroje, přístroje a elektronika -> Technologie, stroje a přístroje
CPV kódy:
22520000-1 - Zařízení pro suché leptání
Popis:
Plasmatický systém (PS) je zařízení, jenž se využívá k plasmatickému leptání organických i anorganických vrstev a materiálů, stripování vrstev rezistů, aktivaci povrchů atd. Plasmatický systém je tvořen pracovní vakuovou komorou s elektrodami, vakuovou pumpou, vakuovou měrkou, radiofrekvenčním generátorem/y, budícím/i plasmatický výboj v komoře nebo/a na RIE elektrodě, přesnými dávkovači pracovních plynů a řídící jednotkou umožňující uživatelské ovládání systému a zajištující automatický běh zvoleného plasmatického procesu.
Upozornění:
pro zobrazení zadávacích podmínek
-
calendar_todayLhůta pro podání nabídek do:08.09.2021
Termíny:
Informace o zadavateli
Upozornění:
pro zobrazení informací o zadavateli