Veřená zakázka

Zařízení pro leptání pomocí iontů (Ion Beam Etching) II. (otevřené řízení, dodávky )

Předmětem zakázky je dodávka zařízení pro leptání materiálů pomocí svazků iontů (ion beam etching). Zařízení se skládá z procesní komory a nezávisle čerpané zakládací komory a je vybaveno odpovídajícím čerpacím systémem. Systém je vybaven iontovým zdrojem o průměru minimálně 15 cm a neutralizérem, automatizovaným držákem vzorků zabezpečující rotaci a náklon, systémem automatizovaného napouštění plynů. Dodávka obsahuje hmotnostní spektrometr pro detekci konce leptání. Ovládací program obsahuje sadu receptů pro leptání běžných materiálů. Zařízení je nezbytnou součástí uceleného technologického celku „Depozice a leptání“ ve sdílených laboratořích a zprostředkuje jeden z posloupnosti mnoha procesních kroků při přípravě vzorků. Bude využíváno pro plošné i selektivní odleptávání exponovaných částí vzorků. Předmětem zakázky je kompletní systém vyžadující pouze připojení k síti 230 V/400 V, v případě potřeby k demineralizované vodě, chladícímu okruhu, vakuovému rozvodu a rozvodu stlačeného vzduchu nebo dusíku. Celkové uspořádání kompletního systému musí být kompatibilní s čistými prostorami třídy 100 a umístěním v prostoru o rozměrech 1500 x 2500 mm2. Systém musí odpovídat evropským normám, zejména Machinery Directive - 2006/42/EC; Low Voltage Directive – 2006/95/EC a EMC Directive – 2004/108/EC. Požadovaný systém musí garantovat leptání multivrstev všech typů materiálů pomocí fyzikálního leptání ionty Ar a detekci jednotlivých vrstev a zastavení leptání s přesností 1 nm a to po celou dobu životnosti požadovaného systému. Podrobná specifikace je uvedena v zadávací dokumentaci.

Termíny:

• calendar_today 

  Lhůta pro podání nabídek do:

  07.01.2015
• calendar_today 

  Termín otevírání obálek:

  07.01.2015