Veřená zakázka

Zařízení pro leptání pomocí iontů (Ion Beam Etching)

Číslo ve věstníku:
483181
Druh zadávacího řízení:
Otevřené řízení
Lokalita:
Jihomoravský kraj
Kategorie:
Technologie, stroje, přístroje a elektronika
Technologie, stroje, přístroje a elektronika ->  Technologie, stroje a přístroje
CPV kódy:
22520000-1 - Zařízení pro suché leptání,
31712100-1 - Mikroelektronické stroje
Popis:

Předmětem zakázky je dodávka zařízení pro leptání materiálů pomocí svazků iontů (ion beam etching). Zařízení se skládá z procesní komory a nezávisle čerpané zakládací komory a je vybaveno odpovídajícím čerpacím systémem. Systém je vybaven iontovým zdrojem o průměru minimálně 15 cm a neutralizérem, automatizovaným držákem vzorků zabezpečující rotaci a náklon, systémem automatizovaného napouštění plynů. Dodávka obsahuje hmotnostní spektrometr pro detekci konce leptání. Ovládací program obsahuje sadu receptů pro leptání běžných materiálů. Podrobná technická specifikace a další požadavky zadavatele jsou uvedeny v zadávací dokumentaci. Zadávací dokumentace je v plném rozsahu dostupná na profilu zadavatele https://www.egordion.cz/nabidkaGORDION/profilVut pod ID 645.

warning
Upozornění: pro zobrazení zadávacích podmínek se registrujte ZDARMA nebo se přihlašte.

    Termíny:

  • calendar_today 
    Lhůta pro podání nabídek do:
    10.10.2014
  • calendar_today 
    Termín otevírání obálek:
    10.10.2014