Veřená zakázka
Zařízení pro leptání pomocí iontů (Ion Beam Etching)
Technologie, stroje, přístroje a elektronika -> Technologie, stroje a přístroje
31712100-1 - Mikroelektronické stroje
Předmětem zakázky je dodávka zařízení pro leptání materiálů pomocí svazků iontů (ion beam etching). Zařízení se skládá z procesní komory a nezávisle čerpané zakládací komory a je vybaveno odpovídajícím čerpacím systémem. Systém je vybaven iontovým zdrojem o průměru minimálně 15 cm a neutralizérem, automatizovaným držákem vzorků zabezpečující rotaci a náklon, systémem automatizovaného napouštění plynů. Dodávka obsahuje hmotnostní spektrometr pro detekci konce leptání. Ovládací program obsahuje sadu receptů pro leptání běžných materiálů. Podrobná technická specifikace a další požadavky zadavatele jsou uvedeny v zadávací dokumentaci. Zadávací dokumentace je v plném rozsahu dostupná na profilu zadavatele https://www.egordion.cz/nabidkaGORDION/profilVut pod ID 645.
-
calendar_todayLhůta pro podání nabídek do:10.10.2014
-
calendar_todayTermín otevírání obálek:10.10.2014