Veřená zakázka
Zařízení pro leptání pomocí iontů (Ion Beam Etching)
Druh zadávacího řízení:
Otevřené řízení
Lokalita:
Jihomoravský kraj
Kategorie:
Technologie, stroje, přístroje a elektronika,
Technologie, stroje, přístroje a elektronika -> Technologie, stroje a přístroje
CPV kódy:
22520000-1 - Zařízení pro suché leptání,31712100-1 - Mikroelektronické stroje
Popis:
Předmětem zakázky je dodávka zařízení pro leptání materiálů pomocí svazků iontů (ion beam etching).
Zařízení se skládá z procesní komory a nezávisle čerpané zakládací komory a je vybaveno odpovídajícím čerpacím systémem. Systém je vybaven iontovým zdrojem o průměru minimálně 15 cm a neutralizérem, automatizovaným držákem vzorků zabezpečující rotaci a náklon, systémem automatizovaného napouštění plynů. Dodávka obsahuje hmotnostní spektrometr pro detekci konce leptání. Ovládací program obsahuje sadu receptů pro leptání běžných materiálů.
Upozornění:
pro zobrazení zadávacích podmínek
-
calendar_todayDatum zahájení zakázky:10.07.2014
-
calendar_todayLhůta pro podání nabídek do:10.10.2014
-
calendar_todayTermín otevírání obálek:10.10.2014
Termíny:
Informace o zadavateli
Upozornění:
pro zobrazení informací o zadavateli