Veřená zakázka

Zařízení pro leptání pomocí par kyseliny fluorovodíkové (HF-VPE) / Hydrofluoric acid vapor phase etcher (HF-VPE)

Předmětem zakázky je dodávka zařízení pro leptání oxidu křemičitého pomocí par kyseliny fluorovodíkové za účelem uvolnění mikro mechanických zařízení (MEMS) z SOI waferů do velikosti 150 mm. HF-VPE musí být designované pro práci v čistých prostorách (ISO 5) a být vybaven uzavřeným systémem práce s kyselinou. HF-VPE systém je plánovaný jako upgrade stávajících digestoří pro leptací procesy, kde nám v současnosti poptávaná technologie chybí. Proto musí tento systém zapadat do konceptu digestoří zejména vhodným materiálem a svou velikostí. Součástí dodávky musí být veškeré příslušenství umožňující bezproblémovou instalaci a zprovoznění přístroje. Podrobně je předmět veřejné zakázky vymezen technickými, obchodními a jinými smluvními podmínkami, které jsou součástí zadávací dokumentace. The subject of the public contract is a device for etching silicon dioxide using vapors of hydrofluoric acid (HF-VPE) to release micromechanical devices (MEMS) from Silicon on Insulators (SOI) wafers up to 150 mm in size. HF-VPE must be designed for cleanroom operation (ISO 5) and be equipped with a closed acid system. The VHFE system is planned as an upgrade of existing fume-hoods for etching processes, where we currently lack the technology in demand. Therefore, this system must fit into the concept of the hoods, especially with suitable material and its size. All accessories must be provided to enable trouble-free installation and operation of the device. The subject of the public contract is defined in detail by technical, business and other contractual terms and conditions included in the procurement documents.

Termíny:

• calendar_today 

  Datum zahájení zakázky:

  21.08.2020
• calendar_today 

  Lhůta pro podání nabídek do:

  04.09.2020