Veřená zakázka

PARYLEN-CVD

Předmětem zakázky je dodávka vakuového systému pro chemickou depozici z plynné fáze (CVD) pro depozici parylenových povlaků, zejména na bázi parylenu-C. Systém bude zahrnovat vakuovou vývěvu, depoziční komoru, pyrolýzní pec s regulací teploty minimálně do 700 stupňů Celsia, alespoň jednu odpařovací komoru dimeru a vymrazovací jednotku. Systém bude schopen homogenně pokrýt šest deskových substrátů o průměru 100 mm. Ovládání depozice bude probíhat s vysokou mírou automatizace procesu. Systém bude provozován v čistých prostorách třídy ISO 8. Podrobně je předmět veřejné zakázky vymezen technickými, obchodními a jinými smluvními podmínkami, které jsou součástí zadávací dokumentace. The subject of the public contract is delivery of a chemical vapor deposition (CVD) vacuum system for deposition of parylene plastic coatings, notably parylene-C. The system will include a vacuum pump, deposition chamber, pyrolysis oven with temperature control at least up to 700 degrees centigrade, at least one dimer vaporization chamber, and a cold-trap system. The system will be able to accommodate at least six 100 mm diameter wafer substrates for homogenous deposition of parylene coatings. The system will have an automatic control of the deposition. The system will be installed in an ISO 8 cleanroom. The subject of the public contract is defined in detail by technical, business and other contractual terms and conditions included in the procurement documents.

Termíny:

• calendar_today 

  Datum zahájení zakázky:

  05.07.2023
• calendar_today 

  Lhůta pro podání nabídek do:

  03.08.2023