Veřená zakázka

Automatická rotační sušička s oplachem (SRD) / Automatic Spin-Rinser-Dryer (SRD) system

Předmětem zakázky je dodávka automatické rotační sušičky s oplachem (SRD) pro wafery do velikosti 150 mm. RSD musí být designované pro práci v čistých prostorách (ISO 5) v antistatickém provedení. Musí mít účinný oplach pomocí DI vody s následovaný sušením pomocí horkého N2, který zajistí, že wafery budou bez skvrn a vodního filmu po předchozích mokrých procesech. SRD systém je plánovaný jako upgrade stávajících digestoří pro mokré procesy, kde nám v současnosti poptávaná technologie chybí. Proto musí tento systém zapadat do konceptu digestoří zejména vhodným materiálem a svou velikostí. Součástí dodávky musí být veškeré příslušenství umožňující bezproblémovou instalaci a zprovoznění přístroje. Podrobně je předmět veřejné zakázky vymezen technickými, obchodními a jinými smluvními podmínkami, které jsou součástí zadávací dokumentace. The subject of the public contract is an automatic Spin-Rinser-Dryer (SRD) system for wafers up to 150 mm in size. The RSD must be designed for work in cleanrooms (ISO 5) in an antistatic design. SRD is designed to clean wafers utilizing DI Water Rinse, followed by heated N2 dry without leaving water spots and films after a wet process. The SRD system is planned as an upgrade of existing fume-hoods for wet processes, where we currently lack the technology in demand. Therefore, this system must fit into the concept of the hoods, especially with a suitable material and its size. All accessories must be provided to enable trouble-free installation and operation of the device. The subject of the public contract is defined in detail by technical, business and other contractual terms and conditions included in the procurement documents.

Termíny:

• calendar_today 

  Datum zahájení zakázky:

  21.08.2020
• calendar_today 

  Lhůta pro podání nabídek do:

  04.09.2020